特許
J-GLOBAL ID:200903084446369010
熱硬化性ポリエーテル樹脂とその製造方法および絶縁膜形成用塗布液
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
久保山 隆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-332765
公開番号(公開出願番号):特開2001-151884
出願日: 1999年11月24日
公開日(公表日): 2001年06月05日
要約:
【要約】【課題】耐薬品性と膜強度に優れた層間絶縁膜材料として用いることができるポリエーテル樹脂、その製造方法、および耐薬品性と膜強度に優れた絶縁膜を形成する塗布液を提供する。【解決手段】〔1〕ジハロゲン化化合物とビスフェノール化合物を重縮合させ、得られたGPCによるポリスチレン換算重量平均分子量が1000以上50000以下のポリエーテルに、加熱により架橋反応を生じる官能基を導入することにより得られる熱硬化性ポリエーテル樹脂。〔II〕ジハロゲン化化合物とビスフェノール化合物を重縮合させ、得られたポリエーテル樹脂をメタル化し、続いて架橋反応を生じる官能基を分子内に有するハロゲン化化合物を用いて置換反応する工程を含む〔I〕に記載の熱硬化性ポリエーテル樹脂の製造方法。〔III〕前記〔I〕に記載の熱硬化性ポリエーテル樹脂を含有する絶縁膜形成用塗布液。
請求項(抜粋):
ジハロゲン化化合物とビスフェノール化合物を重縮合させ、得られたGPCによるポリスチレン換算重量平均分子量が1000以上50000以下のポリエーテルに、加熱により架橋反応を生じる官能基を導入することにより得られることを特徴とする熱硬化性ポリエーテル樹脂。
IPC (5件):
C08G 65/48
, C08J 3/24 CEZ
, C09D 5/25
, C09D171/08
, C08L 71:00
FI (5件):
C08G 65/48
, C08J 3/24 CEZ Z
, C09D 5/25
, C09D171/08
, C08L 71:00
Fターム (14件):
4F070AA52
, 4F070AB01
, 4F070AB07
, 4F070AB22
, 4F070GA01
, 4F070GB01
, 4F070GC09
, 4J005AA24
, 4J005BB01
, 4J005BD00
, 4J005BD08
, 4J038DF051
, 4J038MA14
, 4J038NA21
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