特許
J-GLOBAL ID：200903084452124453
自動姿勢変更装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-018028
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226429
出願日： 1994年02月15日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】 真空中でウエハの搬送を行なうウエハ搬送装置に用いるのに適した姿勢変更装置に関し、気密容器内の圧力変動に応答して自動的に対象物の姿勢を変更できる姿勢変更装置を提供することを目的とする。【構成】 対象物を挿入・搬出可能な開口部を有し、開口部を閉じた状態で内部の圧力を変化させることのできる気密容器と、可動部と保持部を有し、前記気密容器内に配置され、前記保持部が対象物を保持することができ、前記可動部を介して前記気密容器に対して複数の姿勢を取ることができる可動保持手段と、前記気密容器内で気密容器と可動保持手段との間に接続され、前記気密容器内の気圧に応じて変形し、変形によって前記可動保持手段を駆動する密閉容器とを有する。
請求項（抜粋）：
対象物を挿入・搬出可能な開口部を有し、開口部を閉じた状態で内部の圧力を変化させることのできる気密容器と、可動部と保持部を有し、前記気密容器内に配置され、前記保持部が対象物を保持することができ、前記可動部を介して前記気密容器に対して複数の姿勢を取ることができる可動保持手段と、前記気密容器内で気密容器と可動保持手段との間に接続され、前記気密容器内の気圧に応じて変形し、変形によって前記可動保持手段を駆動する密閉容器とを有する姿勢変更装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 541
, B65G 1/07
, B65G 49/07
, H01L 21/02
