特許
J-GLOBAL ID：200903084454457131
段差測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-188509
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014928
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 段差の両側で光反射率が変化していても任意の段差を高精度に測定することのできる段差測定装置を提供すること。【構成】 被検物体が鏡面であるときに検光子に達する反射光が円偏光になるように構成され、検光子は、アナライザ角が所定角度の偏光ビームスプリッターを有し、光検出手段は、偏光ビームスプリッターを透過した光を検出するための第1光検出器と、偏光ビームスプリッターで反射された光を検出するための第2光検出器とを有し、測定手段は、段差に対する第1光検出器の出力と第2光検出器の出力との差と段差が2つの光スポットに付与する位相差との間において成立し且つ段差の両側での振幅反射率変化に依存する関係に基づいて、段差を測定する。
請求項（抜粋）：
空間的にコヒーレントな光を供給するための光源と、該光源からの光を被検物体上に集光するための対物レンズと、該対物レンズを介して前記被検物体上の異なる位置に2つの光スポットを形成するために前記光源からの入射光をその偏光成分によって2つの光に分割するための複屈折プリズムと、前記2つの光スポットを前記被検物体上で走査するための走査手段と、前記2つの光スポットに対する前記被検物体からの反射光のうち特定の偏光成分を選択するための検光子と、該検光子を介して選択された光を検出するための光検出手段と、該光検出手段の出力に基づいて前記被検物体の段差を定量的に測定するための測定手段とを備えた段差測定装置において、前記段差測定装置は、前記被検物体が鏡面であるときに前記検光子に達する反射光が円偏光になるように構成され、前記検光子は、アナライザ角が所定角度の偏光ビームスプリッターを有し、前記光検出手段は、前記偏光ビームスプリッターを透過した光を検出するための第1光検出器と、前記偏光ビームスプリッターで反射された光を検出するための第2光検出器とを有し、前記測定手段は、前記段差に対する前記第1光検出器の出力と前記第2光検出器の出力との差と前記段差が前記2つの光スポットに付与する位相差との間において成立し且つ前記段差の両側での振幅反射率変化に依存する関係に基づいて、前記段差を測定することを特徴とする段差測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/22
, G01B 11/02
, G01B 11/24
G01B 11/22 Z
, G01B 11/02 Z
, G01B 11/24 C
