特許

J-GLOBAL ID：200903084456038381

熱化学気相蒸着装置及びこれを用いた炭素ナノチューブの合成方法

発明者： 李 鉄真 ,  柳 在銀
出願人/特許権者： 李 鉄真 ,  株式会社日進ナノテック
代理人 (1件)： 服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-015874
公開番号（公開出願番号）：特開2001-234341
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 熱化学気相蒸着装置及びこれを用いた炭素ナノチューブの合成方法を提供する。【解決手段】 熱化学気相蒸着装置は、多数の基板100が順次に載置されつつ回転するベルト600と、ベルト600を回転させる回転部650と、ベルト600上に基板100を順次に載置する積載部210と、積載部210に対向して設置され、ベルト600の回転によって移動した基板100を回収する回収部250と、ベルト600に沿って移動する基板100上に炭素ナノチューブを合成させるための反応ガスを供給する第1、第2反応ガス供給部450、460と、ベルト600上に載置された基板100を反応ガスの熱的反応のために加熱する基板加熱部700と、反応ガスを排気する排気部としてのファン800とを含む。

請求項（抜粋）：

複数の基板が順次に載置されつつ回転するベルトと、前記ベルトを回転させる回転部と、前記ベルトの上に前記基板を順次に載置する積載部と、前記積載部に対向して設置され、前記ベルトの回転によって移動した基板を回収する回収部と、前記ベルトに沿って移動する基板上に炭素ナノチューブを合成させるための反応ガスを供給する反応ガス供給部と、前記ベルトの上に載置された基板を前記反応ガスの熱的反応のために加熱する基板加熱部と、前記反応ガスを排気する排気部とを備えることを特徴とする熱化学気相蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/46 ,  B82B 3/00

FI (4件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 F ,  C23C 16/46 ,  B82B 3/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-107896
  
• 特開昭61-026772