特許
J-GLOBAL ID：200903084457180092
位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 精孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-210975
公開番号（公開出願番号）：特開平6-071543
出願日： 1991年08月22日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：
【要約】【目的】 位置合わせ装置の精度誤差や外的影響に拘らず、位置合わせを高精度に行なえる位置合わせ方法を提供すること。【構成】 第1部材3と第2部材4を静電容量測定機6に接続し、第1部材3の穴3aに第2部材4を挿入または接近させた状態で何れか一方の部材を平面内で変位させ、このとき測定される静電容量の変化から穴3aに対する第2部材4の中心位置を求めているので、位置合わせ装置の精度誤差や外的影響に拘らず、位置合わせを高精度に行なえる利点がある。
請求項（抜粋）：
導電性を有する第1部材の穴に導電性を有する第2部材を位置合わせする方法であって、第1部材と第2部材を静電容量測定機に接続し、第1部材の穴に第2部材を挿入または接近させた状態で何れか一方の部材を平面内で変位させ、このとき測定される静電容量の変化から穴に対する第2部材の中心位置を求めるようにした、ことを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (5件)：
B23Q 17/22
, B21D 28/00
, B21D 39/00
, B23P 19/02
, G01B 7/31
