特許
J-GLOBAL ID：200903084457607703
両面同時平面研磨機用キヤリヤ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-193826
公開番号（公開出願番号）：特開平5-038671
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 修正キャリヤによる上下定盤の修正作業を減少させると共にキャリヤの亀裂破損を防止し得る両面同時平面研磨機用キャリヤを提供すること。【構成】 被研磨物3の両面同時平面研磨機に使用されるキャリヤ5の矩形収納孔4の形成位置を上下定盤6、7の外周に対して適当な条件に設定することにより、上記目的を達成した。
請求項（抜粋）：
同軸配置された太陽歯車及びこの太陽歯車を取り囲む内歯車と、被研磨物を収納保持する矩形収納孔を有して前記太陽歯車と内歯車とに噛合し、該太陽歯車の周囲を公転しながら自転するキャリヤと、このキャリヤを挾んで上下に対向しその対向面にはそれぞれ前記被加工物の表裏面を研磨する研磨表面が設けられかつそれぞれ回転駆動される上定盤および下定盤とを備え、キャリヤの一部を上下定盤から食み出させて研磨する両面同時平面研磨機において、キャリヤに形成される矩形収納孔のキャリヤ外周に近い一辺に垂直な2等分線がキャリヤ中心を通らない位置にあり、かつ、上記キャリヤの収納孔のキャリヤ外周に近い一辺が上下定盤から完全には食み出さず少なくともその一部が上下定盤内に残存する位置関係になるように上記矩形収納孔をキャリヤに形成したことを特徴とする両面同時平面研磨機用キャリヤ。
引用特許：
前のページに戻る
