特許
J-GLOBAL ID：200903084463513540
光導波路およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-148205
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015540
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 コア部の内部応力が低減された偏光特性の小さい光導波路を提供する。【構成】 本発明の光導波路では、コア部の両側のクラッド層にはコア部に沿って溝が形成されており、この溝によって切り離されたコア部およびこれを被覆するクラッド部からなる導波路部が基板から分離されている。クラッド層に形成された溝により基板からクラッド層を介しコア部の側面に付与される膜応力が解放され、さらに導波路部が基板から分離されていることで、基板から導波路部のクラッド部を介してコア部の上下面に付与される膜応力も解放される。これにより、コア部の内部応力が大幅に低減される。
請求項（抜粋）：
光導波部であるコア部と、このコア部が埋設され、このコア部より低屈折率のクラッド層とから構成される導波路層が基板上に形成された光導波路において、前記コア部の両側の前記クラッド層には前記コア部に沿って溝が形成されており、この溝によって切り離された前記コア部およびこれを被覆するクラッド部からなる導波路部が前記基板から分離されていることを特徴とする光導波路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
