特許

J-GLOBAL ID：200903084466792084

マルチチャンネルセンサとその製造方法及びバイオセンサシステムとその製造方法

発明者： 千葉 啓子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-160661
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361269
出願日： 2003年06月05日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【目的】高感度水晶振動子の作製が容易となり、従来作製不可能であった高感度なセンサを作製することができるマルチチャネルセンサを提供すること。【構成】重量変化に伴う周波数変換素子の周波数変化を測定する微量質量センサを基板上に複数個並べたマルチチャネルセンサにおいて、各センサとセンサを支える支持体が別体であることを特徴とする。ここで、マルチチャンネルセンサは取り替え可能である。又、前記周波数変換素子は水晶振動子であり、その厚さは50μm以下とする。更に、複数個の周波数変換素子は僅かに周波数が異なる領域で用いられる。マルチチャンネルセンサは、特定の分析対象のみを捕獲する感応膜が固定化されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

重量変化に伴う周波数変換素子の周波数変化を測定する微量質量センサを基板上に複数個並べたマルチチャネルセンサにおいて、 各センサとセンサを支える支持体が別体であることを特徴とするマルチチャンネルセンサ。

IPC (4件)：

G01N5/02 ,  G01N33/543 ,  H03H9/17 ,  H03H9/19

FI (4件)：

G01N5/02 A ,  G01N33/543 593 ,  H03H9/17 F ,  H03H9/19 E

Fターム (5件)：

5J108AA09 ,  5J108BB02 ,  5J108DD02 ,  5J108FF01 ,  5J108KK01