特許

J-GLOBAL ID：200903084469232381

較正標準及び較正標準の生成方法

発明者： ヨハン ダブリュー. バルタ ,  トーマス バイエル ,  ヨハン グレスクネル ,  マルティン ノネンマケル ,  ヘルガ ヴァイス
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083514
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094569
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 1nm及びそれより優れた範囲の精度を持った2-D プロフィロメトリ及び3-D プロフィロメトリのための較正標準を提供する。【構成】 較正標準は、隆起したライン(2)及びトレンチ(3) から成る少なくとも一対の異なる種類の構造体(2、3)を備えた単結晶物質の支持構造体(1) を含む。一対の異なる種類の構造体(2、3)は同じ幅を有する。

請求項（抜粋）：

較正標準であって、少なくとも一対(4)の異なる種類の構造体(2、3)を備える単結晶物質の支持構造体(1)を含み、前記対(4)の異なる種類の構造体の各々の構造体(2、3)が同じ幅を持つ、較正標準。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01B 1/00 101 ,  H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-289411
  
• 特開平4-301501
  
• 特開平4-368767