特許
J-GLOBAL ID：200903084471013727
半導体加速度センサ及びその製造方法並びに車両制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116619
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304425
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 周波数特性の調整を容易にする。【解決手段】 加速度が作用したときに変位可変な慣性質量部6に凹状部7を形成し、凹状部7の最奥部7aを支持部8で支持した梁部10で支持する。そして、加速度が作用したときに梁部10の応力変化から、加速度の変化を電位差として検出するゲージ抵抗11を梁部10に配置する。
請求項（抜粋）：
加速度が作用したときに変位可能な慣性質量部と、この慣性質量部を一端で支持した梁部と、この梁部の他端を支持し固定される支持部と、上記梁部に形成したゲージ抵抗とにより上記加速度の変化を検出する半導体加速度センサにおいて、上記慣性質量部に凹状部を形成し、上記凹状部の最奥部を上記梁部で支持したことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (7件)：
G01P 15/12
, B62D 6/00
, G01C 21/00
, H01L 29/84
, B62D103:00
, B62D105:00
, B62D113:00
G01P 15/12
, B62D 6/00
, G01C 21/00 D
, H01L 29/84 A
