特許
J-GLOBAL ID：200903084473086985
電子写真感光体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280442
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094031
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 成膜欠陥が少なく、高膜厚のa-Si感光体の製造を容易にする。【構成】 a-Si感光体の成膜過程で、感光体の基体を成膜室においたまま、ドライエッチングを行う。基体に成膜されたa-Si膜と成膜室の内壁等に成膜された膜とのエッチングレートは、1:10以上で内壁に付着した膜の方が大きく、内壁に付着した膜を選択的にエッチングできる。
請求項（抜粋）：
成膜室内に配置した基体に感光体膜を成膜する途中で、成膜を中断し、該基体を成膜室内に配置したまま、成膜室の内壁をエッチングガスによりドライエッチングする工程を設けたことを特徴とする、電子写真感光体の製造方法。
IPC (2件)：
G03G 5/082
, G03G 5/08 360
