特許
J-GLOBAL ID：200903084476569065
放電励起型レーザ装置におけるレーザガスの制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134468
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008481
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】レーザ光のパワーの安定化を図る。【構成】パワー検出手段15によって出力レーザ光LaのパワーEが目標値からずれたことが検出された場合に、出力レーザ光のパワーEが目標値になるように、電源17の電圧が一定値に維持されつつレーザチャンバ4内に供給されるレーザガスの供給量が制御される。
請求項（抜粋）：
電源と、該電源の電圧を放電電極に印加させる主スイッチと、該主スイッチと前記放電電極との間に介在されて、前記電源から前記放電電極に流れる電流を前記電源の電圧の大きさに応じた時間の間阻止する磁気スイッチとを有した充放電回路を具えるとともに、前記放電電極が配設されたレーザチャンバ内にレーザガスを供給して前記放電電極間の放電によって前記レーザガスを励起し、レーザ光を発振、出力させるようにした放電励起型レーザ装置において、前記出力レーザ光のパワーを検出するパワー検出手段と、前記パワー検出手段によって前記出力レーザ光のパワーが目標値または目標範囲からずれたことが検出された場合に、前記出力レーザ光のパワーが前記目標値に一致するか、前記目標範囲内に入るように、前記電源の電圧を一定値に維持しつつ前記レーザチャンバ内に供給されるレーザガスの供給量または該レーザチャンバから排出されるレーザガスの排気量を制御する制御手段とを具えた放電励起型レーザ装置におけるレーザガスの制御装置。
IPC (2件)：
H01S 3/134
, G03F 7/20 505
