特許
J-GLOBAL ID:200903084476875140

含水洗浄液の水分濃度管理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 久保田 耕平 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-320915
公開番号(公開出願番号):特開平7-151676
出願日: 1993年11月29日
公開日(公表日): 1995年06月16日
要約:
【要約】【目的】 簡便にかつ再現性よく水分濃度が測定でき、汚れ成分の存在に影響されない、しかもオンライン化、自動化が可能な含水洗浄液の水分濃度管理方法を提供する。【構成】 含水有機溶媒を主体とする洗浄液の近赤外線スペクトルを測定し、水が特性吸収を示す波長(好ましくは1.45μm)における吸光度を測定し、該吸光度の値から、水分濃度対吸光度の関係を表す検量線を用いて水分濃度を求める方法。
請求項(抜粋):
含水有機溶媒を主体とする洗浄液の水分濃度管理方法であって、該洗浄液に近赤外領域の波長を含む光を照射し、該近赤外領域で水が特性吸収を示す波長において吸光度を測定し、該吸光度の値から、既知の水分濃度の試料液についてあらかじめ作成した水分濃度対吸光度の関係を表す検量線を用いて水分濃度を定量することを特徴とする方法。

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