走査型顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-209140
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045113
出願日： 1991年08月21日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】試料や探針を加熱しても温度ドリフトが発生しない走査型トンネル顕微鏡を提供する。【構成】自発分極のない圧電材料Li2B4O7 を用いてスキャナーを形成する。第3図は温度に対するドリフト量を示したもので、圧電材としてPZTを用いた場合が点線で、Li2B4O7 を用いた場合が実線で示してある。Li2B4O7 は温度係数が0なので、温度変化があっても熱膨張等せず、ドリフトが発生しない。【効果】温度ドリフトの補償などドリフト対策をしなくても、容易に高温での観察が行える。さらに、高温での装置のベーキングも可能になる。

請求項（抜粋）：

プローブ探針を、試料表面上を走査することによって画像を得る走査型顕微鏡であって、とくに試料を室温以上に加熱する走査型顕微鏡において、該プローブもしくは試料を走査,制御するスキャナーが、Li2B4O7 を用いて形成されていることを特徴とする走査型顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 7/34 , H01J 37/28

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