特許
J-GLOBAL ID：200903084479934449
外観検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335245
公開番号（公開出願番号）：特開2000-161931
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 短時間で確実に、そして比較的容易に目視検査を行うことができる外観検査装置を得ること。【解決手段】 本発明の実施形態の外観検査装置1は、基準基板Psと被検査基板Piとを隣接してXYテーブル2上に載置し、そのXYテーブル2の送りを検査場所の順に制御装置3内のコンピュータにプログラムし、そのプログラムに従って前記XYテーブルを送り、基準用ビデオカメラ410で基準基板Psの所定部分を撮影し、検査用ビデオカメラ420で被検査基板Piの前記基準基板Psと同一の部分を撮影し、両映像を画面分割装置310を介してテレビモニタ5の画面上に隣接して映出し、両映像を比較して被検査基板Piの良否を目視検査できるように構成されている。
請求項（抜粋）：
基準物体と被検査物体とを接近して載置でき、X軸方向及びY軸方向に自在に移動できるXYテーブルと、該XYテーブルの送りをプログラムし、そのプログラムに従って前記XYテーブルの送りを順次制御できる制御装置と、前記基準物体の所定部分を撮影できるレンズ系を備えた基準用ビデオカメラと、該基準用ビデオカメラが映出する前記基準物体の所定部分と同一の前記被検査物体の所定部分を撮影できる前記レンズ系と同倍率のレンズ系を備えた検査用ビデオカメラと、前記基準用ビデオカメラと前記検査用ビデオカメラとで撮影したそれぞれの映像を隣接して映出できるテレビモニタとから構成されていることを特徴とする外観検査装置。
Fターム (13件)：
2F065BB02
, 2F065BB15
, 2F065CC28
, 2F065DD06
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065PP12
, 2F065RR07
, 2F065SS02
, 2F065SS13
