特許

J-GLOBAL ID：200903084480893985

水晶板のカット面検査装置

発明者： 町谷 芳郎
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352674
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174662
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 水晶板のカット面検査装置において、いかなる形状、大きさの水晶板も吸着保持して、カット面検査できるようにする。【構成】 水晶板8の内部の結晶格子面に対する水晶板8のカット面の角度を検査する水晶板のカット面検査装置であって、水晶板8を載置する水晶板支持台1と、水晶板支持台1上に載置された水晶板8にX線を照射するX線源2と、水晶板8で回折したX線を検出するX線カウンタ3とを有する装置である。この装置は、さらに、水晶板支持台1上に設けられていて一点Qを中心として放射状に延びる3個の線状突起6と、水晶板支持台1の表面に開口する水晶板吸着用の空気穴7とを有している。

請求項（抜粋）：

水晶板を載置する水晶板支持台と、水晶板支持台上に載置された水晶板にX線を照射しその水晶板で回折したX線を検出するX線光学系とを有しており、水晶板内部の結晶格子面に対する水晶板のカット面の傾斜角度を検査する水晶板のカット面検査装置において、水晶板支持台上に設けられ、一点を中心として放射状に延びる複数の線状突起と、水晶板支持台の表面に開口する空気穴とを有することを特徴とする水晶板のカット面検査装置。