特許

J-GLOBAL ID：200903084483102709

熱処理装置

発明者： 島津 知久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207138
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045549
出願日： 1993年07月29日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 金属薄板を使った場合でも、十分に高真空化に耐えられる封止構造を提供する。【構成】 反応ガスを満す円筒状の反応管と、この反応管の開口部に反応ガスを供給するガス供給管とガス排出管が接続された円筒状の両端にフランジ部11が設けられたマニホールド13と、このマニホールドにおける前記反応管の開口部が接続していない他端開口部を封止する蓋体34と、前記反応管と前記マニホールドの間に設けられ、円周部が接合された2枚の環状の金属薄板と、この金属薄板が接面するマニホールドのフランジ部に設けられた環状の円周状のマニホールド溝部と、前記反応管のフランジ部と前記マニホールドに設面していない前記金属薄板の表面を覆うように設けられたアウターフランジ部16と、このアウターフランジ部と前記反応管の間に形成される隙間と前記マニホールド溝部とに連通する排気手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

被処理体を熱処理する熱処理装置において、反応ガスを満す円筒状の反応管と、この反応管の開口部に反応ガスを供給するガス供給管と、ガス排出管が接続された円筒状の両端にフランジ部が設けられたマニホールドと、このマニホールドにおける前記反応管の開口部が接続していない他端開口部を封止する蓋体と、前記反応管と前記マニホールドの間に設けられ、円周部が接合された2枚の環状の金属薄板と、この金属薄板が接面するマニホールドのフランジ部に設けられた環状の円周状のマニホールド溝部と、前記反応管のフランジ部と前記マニホールドに設面していない前記金属薄板の表面を覆うように設けられたアウターフランジ部と、このアウターフランジ部と前記反応管の間に形成される隙間と前記マニホールド溝部とに連通する排気手段とを設けたことを特徴とする熱処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  C23C 14/00 ,  H01L 21/324