特許

J-GLOBAL ID：200903084486425622

蒸着装置

発明者： 鎌田 英樹
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044287
公開番号（公開出願番号）：特開平11-229123
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：

【要約】【課題】 高価な有機EL材料の利用効率を向上させ、有機EL素子の大幅なコスト削減を可能にする蒸着装置を提供する。【解決手段】 成膜チャンバ12内に坩堝16の開口部16Aを開閉する蒸着源シャッタ19を回動可能に設け、この蒸着源シャッタ19の下面に付着しようとする蒸発した蒸着物質を吸引パイプ26で吸引して、蒸着物質回収槽27に蒸着物質15を回収することを可能にした。このため、非成膜時に無駄になる蒸着物質を有効に回収できるため、高価な有機EL材料の利用効率を向上し、有機EL素子の大幅なコストを削減を可能にした。

請求項（抜粋）：

成膜チャンバ内に、加熱される蒸着源と、被成膜基板とが配置されると共に、成膜を行わないときに前記蒸着源から蒸発する蒸着物質の流出を遮る、開閉動作を行う蒸着源シャッタが設けられた蒸着装置であって、前記蒸着源シャッタに向けて蒸発した蒸着物質の回収手段を備えることを特徴とする蒸着装置。