特許

J-GLOBAL ID：200903084489059074

フッ素樹脂成形品の表面処理方法

発明者： 秋元 文二
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107340
公開番号（公開出願番号）：特開平6-298971
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【目的】 フッ素樹脂成形品の表面を化学的に改質するとともに、物理的にも改質し、その接着性を著しく向上させ、接着時の引張り強度が材料破壊を生じる強さとなるようにする。【構成】 フッ素樹脂成形品1を高周波(RF)スパッタリング装置のターゲット2上に設置し、真空槽3を5×10-3Pa以下に減圧する。その後、Arガスを4〜10Pa導入して真空槽無いにガスを充填させ、高周波発生器(13.56MHz)およびマッチングユニットから成る高周波電源4を用いて高周波放電を起こす。このとき、高周波発振器への投入電力が100W未満では高周波放電が安定しないため、投入電力を100W以上として高周波放電を生じさせ、この放電により生成されるArイオンをフッ素樹脂成形品1の表面に10分以上衝突させる。

請求項（抜粋）：

高周波スパッタリング装置のターゲット位置にSiO2 ターゲットを設置し、その上にフッ素樹脂成形品を載せた後、該スパッタリング装置の真空槽内にアルゴンガスを4〜10Pa導入し、高周波発振器への投入電力を100W以上に設定して高周波放電を起こし、該フッ素樹脂成形品の表面にアルゴンイオンを10分以上衝突させることを特徴とするフッ素樹脂成形品の表面処理方法。

IPC (2件)：

C08J 7/00 307 ,  C08J 7/00 CEW