特許

J-GLOBAL ID：200903084497689125

ガス検知方法

発明者： 中村 雅之 ,  杉本 岩雄 ,  桑野 博喜
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112323
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297096
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】 高精度で、小型な、膜厚および温度補正機能付きのガス検知センサと検知方法を低原価で提供する。【解決手段】 ガス吸着前の所定膜厚値を有するカウンタ出力から周波数変化(吸着量)を計算し(S004)、膜厚のばらつき補正(S005)、温度変化による補正(S006)を行う。

請求項（抜粋）：

表面に吸着膜を有する水晶発振子のセンサを用い、被検知ガスの前記吸着膜への吸着による前記水晶発振子の共振周波数の変化を求めることにより被検知ガスを検知するガス検知方法において、ガス吸着前の膜厚値から換算した、基準発振子の共振周波数とガス吸着後の前記センサの共振周波数との差から、共振周波数の変化を求めることを特徴とするガス検知方法。