特許

J-GLOBAL ID：200903084497982728

基板搬送装置

発明者： 楢木 剛 ,  原 典彦 ,  小島 敏裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048489
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246348
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 搬送処理すべき基板が、厚さ、大きさ、質量等の異なる種類のものである場合、それぞれに最適な搬送条件を自動的に選択し、搬送するようにした基板搬送装置を得る。【解決手段】 基板aを保持して第1の位置(基板用カセットA等)から第2の位置(露光装置等)へ搬送する搬送手段Cと、基板の搬送経路中に配置され、搬送すべき基板の種類を検出する基板種検出手段5(例えば、基板の振動状態を測定する振動測定器、質量計量器、寸法計測器、厚み検出器、等)と、該基板種検出手段の検出結果に応じて前記基板の搬送条件を設定し、前記搬送手段を制御する制御手段7とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板を保持して第1の位置から第2の位置へ搬送する搬送手段と、基板の搬送経路中に配置され、搬送すべき基板の種類を検出する基板種検出手段と、該基板種検出手段の検出結果に応じて前記基板の搬送条件を設定し、前記搬送手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 C ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 514 D