特許

J-GLOBAL ID：200903084504016484

2,4-置換アミノ-6-置換オキシ-1,3,5-トリアジン及びその製造方法並びにネガ型感放射線性レジスト組成物

発明者： 降▲旗▼ 智欣 ,  山田 素行 ,  名倉 茂広 ,  石原 俊信
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-332875
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235274
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【解決手段】 下記構造式(1)で示される2,4-置換アミノ-6-置換オキシ-1,3,5-トリアジン。【化1】(式中、R1は炭素数2以上の一価炭化水素基又は5もしくは6員環の芳香族複素環基を示し、R2〜R5のうち少なくとも2個は-CH2OR6(R6は炭素数1〜4のアルキル基)で示されるアルコキシメチル基を示し、他は水素原子を示す。)【効果】 本発明の2,4-置換アミノ-6-置換オキシ-1,3,5-トリアジンは、それ自体架橋剤として使用し得ると共に、ネガ型感放射線レジスト組成物におけるベースポリマーとの相溶性及び貯蔵安定性に優れた架橋剤として有用である。

請求項（抜粋）：

下記構造式(1)【化1】(式中、R1は非置換又は置換の炭素数2以上の一価炭化水素基又は5もしくは6員環の芳香族複素環基を示し、R2〜R5のうち少なくとも2個は-CH2OR6(R6は非置換又は置換の炭素数1〜4のアルキル基)で示されるアルコキシメチル基を示し、他は水素原子を示す。)で示される2,4-置換アミノ-6-置換オキシ-1,3,5-トリアジン。

IPC (4件)：

C07D251/52 ,  C08K 5/3492 KBN ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503

FI (4件)：

C07D251/52 A ,  C08K 5/3492 KBN ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503