特許
J-GLOBAL ID:200903084504819102

磁気力顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-045967
公開番号(公開出願番号):特開平10-239409
出願日: 1997年02月28日
公開日(公表日): 1998年09月11日
要約:
【要約】【課題】本発明はカンチレバーに設けられた磁化された尖端の変位に基づき試料の磁区構造を観察する磁気力顕微鏡に関し、正確な磁化情報を得ることを課題とする。【解決手段】磁気記録媒体13の有する磁力に応じて変位するカンチレバー変位を検出することにより媒体13の磁力検出を行う磁気力顕微鏡において、磁界を発生させることによりカンチレバーに設けられたチップ14に対し磁界を印加する磁界発生装置17と、この磁界発生装置17が発生させる磁界の印加方向を移動させる印加磁界移動装置18と、前記媒体13から漏出する漏れ磁界の中心方向を検出する磁界方向検出装置19と、この磁界方向検出装置19から得られた情報に基づき印加磁界移動装置18を制御し、磁界発生装置17が発生する磁界と媒体13から漏出する漏れ磁界の中心方向とを一致するよう制御する制御装置20とより構成される磁界印加装置12を設ける。
請求項(抜粋):
カンチレバーに配設されると共に磁化された尖端を試料に対峙させ、前記試料の有する磁力に応じて変位するカンチレバー変位を検出することにより前記試料の磁力検出を行う磁気力顕微鏡において、前記尖端の磁化方向が、前記試料から漏出する漏れ磁界の中心方向と一致するよう、前記尖端を磁化させる磁界印加装置を設けたことを特徴とする磁気力顕微鏡。
IPC (2件):
G01R 33/02 ,  G01N 27/72
FI (2件):
G01R 33/02 F ,  G01N 27/72

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