赤外線検出装置およびその封止方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-266480
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120306
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】基板に形成された中空部と外部空間との間に圧力差を生じさせることなく、中空部内部を真空または低熱伝導性ガスで置換することを可能とする。【構成】中空部11を有する基板12と、周辺が基板12に支持されると共に中空部11を覆うように形成された熱絶縁膜13と、熱絶縁膜13上に形成された赤外線検出体14とを備えた赤外線検出素子10を、気密性パッケージ内に収容するとともに、そのパッケージの内部を真空あるいは低熱伝導性ガスで満たしてなる赤外線検出装置において、中空部11とそれを除く外部空間との間を連通する手段22を設けるとともに、その連通手段22に、赤外線検出素子10を真空または低熱伝導性ガスで置換してパッケージ内に気密封止するため、それらが収容された気密性容器40を排気する際、排気中に中空部11と気密性容器40の内部空間41との間に圧力差を生じさせないようなコンダクタンスを持たせたものである。

請求項（抜粋）：

中空部を有する基板と、周辺が前記基板に支持されると共に前記中空部を覆うように形成された熱絶縁膜と、その熱絶縁膜上に形成された赤外線検出体とを備えた赤外線検出素子を、気密性パッケージ内に収容するとともに、そのパッケージの内部を真空あるいは低熱伝導性ガスで満たしてなる赤外線検出装置において、前記中空部とそれを除く外部空間との間を連通する手段を設けるとともに、その連通手段に、赤外線検出素子を真空または低熱伝導性ガスで置換してパッケージ内に気密封止するため、それらが収容された気密性容器を排気する際、排気中に前記中空部と気密性容器の内部空間との間に圧力差を生じさせないようなコンダクタンスを持たせたことを特徴とする赤外線検出装置。

IPC (4件)：

G01J 1/02 , G01J 5/02 , H01L 23/02 , H01L 23/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-199933
特開平3-199933
特開平3-199933

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