特許
J-GLOBAL ID：200903084523839033
薄板状ワークの吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-285460
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143147
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板等の薄板状ワークをハンド上で吸着保持する際、薄板状ワークが変形していても確実に吸着保持することができる薄板状ワークの吸着装置を提供すること。【構成】 吸着具17、ハンド1、及び、支持ゴム15を備える。吸着具17は、ガラス基板の下面に当接する上端面17aに吸気流路18が開口する筒形状としている。ハンド1は、吸着具17を収納するとともに真空ポンプVに接続される収納孔8を上面1a側に備える。支持ゴム15は、収納孔8の内周面全周から吸着具17の外周面全周に連結され、吸着具上端面17aをハンド上面1aから突出させるように吸着具17を保持する環状体としている。
請求項（抜粋）：
薄板状ワークを負圧を利用して吸着保持する薄板状ワークの吸着装置であって、前記薄板状ワーク下面に当接する上端面に吸気流路が開口する筒状の吸着具と、該吸着具を収納するとともに負圧源に接続される収納孔を上面側に備えたハンドと、前記収納孔内周面全周から前記吸着具の外周面全周に連結され、前記吸着具上端面を前記ハンド上面から突出させるように前記吸着具を保持する環状の支持ゴムと、を備えて構成されていることを特徴とする薄板状ワークの吸着装置。
IPC (2件)：
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