洗浄槽

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-185586
公開番号（公開出願番号）：特開平8-051093
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】短時間で効率よく洗浄でき、しかも保守管理がしやすい洗浄槽を得る。【構成】 2重槽の間隙を塞ぐ多孔板6と支持台7を有する内槽1を、外槽2内に一定間隙で保持し、外槽2の底中央から注入した洗浄液4を内槽1の排出口8から接続手段14を介して槽外に排出する。

請求項（抜粋）：

内槽と外槽との2重槽からなる洗浄槽を用い、上記内槽の外周上部に上記外槽との間隙をほぼ塞ぐように底面と平行に多孔板を設けるとともに、被洗浄物が洗浄液に十分浸漬できる内槽内の位置に、上記被洗浄物を載架する多孔板を支持台として設けた内槽を、該内槽の上縁が上記外槽の上縁より十分低く、かつ周囲にほぼ等しい間隙を保って外槽内部に着脱自在に設置できる構成とし、上記外槽底部中央の注入口から注入し、外槽と内槽の間隙を上昇して内槽上縁から被洗浄物に注ぐ洗浄液の排出口を、接続手段を介して槽外の排出管に接続した洗浄槽。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 , B08B 3/10

引用特許：

出願人引用 (8件)

洗浄槽
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-159934 出願人：株式会社ダン科学
洗浄装置及びこれを用いた半導体ウエハなどの基板の洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-208211 出願人：ソニー株式会社
特開平1-242116

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