特許
J-GLOBAL ID：200903084536229358
一体化プレ・イオナイザを有する小型エキシマレーザ絶縁体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-128976
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326929
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 プレ・イオナイザ要素が陰極絶縁板と一体化されているプレ・イオン化システムを提供する。【解決手段】 陰極絶縁板は、その前面内に加工された凹み領域を含み、その中に絶縁体前面と実質的に同一の面をなすように陰極が嵌め込まれる。絶縁板の背面は陰極の長手方向軸と平行に走る1対のスロットを含む。プレ・イオン化棒がこれらのスロット内に配置され、スロットは棒を陰極に近接して配置させるのに充分な深さを有している。棒を接地に維持することによって、棒と陰極との間に絶縁板材料をキャパシタの誘電体材料とするキャパシタが形成される。電圧パルスが印加されると、容量性コロナ放電が形成されて陰極付近の領域のガスをプレ・イオン化する。
請求項（抜粋）：
レーザに使用するためのプレ・イオナイザにおいて、第1の表面及び第2の表面を有し、誘電体破壊を生ずることなく容量性コロナ放電を支える特性を有する誘電性材料で作られている部材と、上記部材の上記第1の表面内の凹み領域と、上記第1の表面の上記凹み領域内にあって、第1のキャパシタ板を限定している第1の電極と、上記部材の上記第2の表面内の少なくとも1つの凹み領域と、上記第2の表面の上記凹み領域内にあって、第2のキャパシタ板を限定している第2の電極と、上記第1の電極と第2の電極との間に電圧を印加して上記キャパシタを充電し、上記部材からコロナ放電を形成させる電圧源と、を備えていることを特徴とするプレ・イオナイザ。
IPC (3件)：
H01S 3/0977
, H01S 3/038
, H01S 3/225
H01S 3/097 E
, H01S 3/03 B
, H01S 3/223 E
