特許

J-GLOBAL ID：200903084538057309

感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト

発明者： 日向 淳悦 ,  山本 尚俊
出願人/特許権者： ニチゴー・モートン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160450
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347400
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 感度、解像力、密着性、めっき特性、レジスト剥離性に優れたドライフィルムレジストに用いられる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)及び光重合開始剤(C)からなる感光性樹脂組成物において、エチレン性不飽和化合物(B)として、下記一般式(1)で示される光重合モノマー(B1)をエチレン性不飽和化合物(B)全体に対して3〜70重量%含有し、好ましくは光重合開始剤(C)としてロフィン二量体(C1)、p-アミノフェニルケトン(C2)を含有してなる感光性樹脂組成物。ここで、Rは水素又はメチル基で、nは1〜9の整数である。

請求項（抜粋）：

カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)及び光重合開始剤(C)からなる感光性樹脂組成物において、エチレン性不飽和化合物(B)として、下記一般式(1)で示される光重合モノマー(B1)をエチレン性不飽和化合物(B)全体に対して3〜70重量%含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】ここで、Rは水素又はメチル基で、nは1〜9の整数である。

IPC (4件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/00 F ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (18件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC31 ,  2H025BC43 ,  2H025BC65 ,  2H025CA00 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB43

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 架橋硬化樹脂
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-137594   出願人：三菱レイヨン株式会社