マイクロ波高周波プラズマ放電による有機ハロゲン化合物分解装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353466
公開番号（公開出願番号）：特開2001-129359
出願日： 1999年11月08日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】【課題】有機ハロゲン化合物を含む有害ガス分解に対して腐食等が無く、分解効率が高く、分解後の反応生成物の回収が容易で、小型であって、低コストな装置の提供。【解決手段】有機ハロゲン化合物を含むガスあるいはPFCガス等の有害ガスをプロセスチャンバー25の減圧に使用するドライポンプ排気ライン22より、40Torr近傍の減圧下でもHe等のガスを付与する事無く安定放電可能な、無電極マイクロ波無反射放電プラズマ放電部5内の放電管に導入し、減圧レベルを下げずに有害ガス濃度の高い状態でプラズマ乖離分解し、分解放電プラズマ減圧真空装置として水封式真空ポンプ8を用いて有害ガス分解後の生成物を直接水封式真空ポンプ8乃至封液槽9内の水に接触させ回収し未反応の前記有害ガスを分解、除去する分解方法及び装置。

請求項（抜粋）：

プラズマを用いて有機ハロゲン化合物の分解を行うようにしたプラズマ反応法による有機ハロゲン化合物の分解方法において、有機ハロゲン化合物を含んだガスをマイクロ波減圧放電プラズマ放電管に導入し、有機ハロゲン化合物を分解することを特徴とするマイクロ波減圧放電プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法。

IPC (2件)：

B01D 53/70 , B01D 53/32 ZAB

FI (2件)：

B01D 53/32 ZAB , B01D 53/34 134 E

Fターム (5件)：

4D002AA17 , 4D002AA21 , 4D002BA02 , 4D002BA07 , 4D002DA35

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