特許
J-GLOBAL ID：200903084552547475
圧力変換器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-175170
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035896
出願日： 1991年07月16日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 半導体圧力センサチップと被圧力測定流体との間のゲル状の圧力伝達媒体を不要とし、ダンピング等の問題がなく、かつ部品点数を減少させ、簡単な構造で、材料コストおよび製造コストを削減させる。【構成】 流体管11に設けられた圧力検出孔12に対向してセンサチップ13が配設されている。ダイアフラム部14を含むセンサチップ13の裏面側はシリコンオキシナイトライド膜15により被覆されている。流体管11の圧力検出孔12の周囲に形成された溝部17にはOリング18が嵌入されている。フレキシブルプリント基板21の接続電極20とセンサチップ13の出力端子とが半田付けにより電気的に接続されている。流体管11の側壁に形成された押圧蓋嵌合部22には押圧蓋23が嵌合され、この押圧蓋23の凸部24がOリング18とセンサチップ13との間に適度な強さの押圧力を与える。
請求項（抜粋）：
一方の面が被圧力測定流体と接触する受圧面であり、この受圧面は誘電体保護膜が被覆されたダイアフラム部を有する半導体圧力センサチップと、内部を被圧力測定流体が流通するとともに側壁に圧力検出孔を有する流体管とからなり、前記半導体圧力センサチップの受圧面を前記流体菅の圧力検出孔内に臨ませて配設したことを特徴とする圧力変換器。
IPC (3件)：
G01L 9/00
, A61B 5/022
, G01L 7/00
