特許
J-GLOBAL ID：200903084553956840
アルミディスクのグライド傷検出光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296081
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128253
出願日： 1993年11月01日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 アルミディスク1の有害なグライド傷Gを良好に検出する。【構成】 レーザ光源313 の平行ビームLT ’を、グライド傷Gの有害な最小限の幅wmiに対応した直径φ2 を有する平行ビームLT ”に変換して投射する投光系31と、最小限の幅wmiを有するグライド傷Gの散乱光LRRを、一括して集光する集光レンズ321 と、正反射光LRsに対する排除機能とを有する受光系32とにより構成される。【効果】 グライド傷検査装置の信頼性の向上と検査時間の短縮に寄与する。
請求項（抜粋）：
表面にニッケルメッキ層が形成された、磁気ディスクの素材のアルミディスクを検査対象とし、レーザ光源よりレーザビームを投射する投光系と、該ニッケルメッキ層の散乱光に対する受光系とを具備し、前記アルミディスクの研磨により生じ、前記ニッケルメッキ層に残存するグライド傷を検査するグライド傷検査装置において、前記レーザ光源のレーザビーム、前記グライド傷の有害な最小限の幅に対応する直径を有する平行ビームに変換して投射する投光系と、該最小限の幅を有する前記グライド傷の散乱光を、一括して集光する集光レンズと、正反射光に対する排除機能とを有する受光系とにより構成されたことを特徴とする、アルミディスクのグライド傷検出光学系。
IPC (2件)：
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