特許
J-GLOBAL ID：200903084555861308
ウェハローダ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094982
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275847
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】【課題】 ウエハキャリア用で決まったウエハ径以外のウエハもロード・アンロード可能にして、装置の利用範囲を拡大させるウエハローダが望まれている。【解決手段】 他のプロセスラインとインターフェースを持つウエハ径固定の毎葉式のウエハ載置台と、異なる径の複数枚ウエハを収納するウエハキャリア用の載置台の両者を具備させる。
請求項（抜粋）：
複数枚のウェハを格納可能なキャリアを搭載する載置台と、そのキャリアを上下に移動させる駆動機構と、ウェハの高さ方向の位置に応じて載置台を位置決めする制御系と、位置決めされたウェハを搬出、搬入するアーム機構を有するウェハローダにおいて、枚葉処理専用スロットをキャリアとは別に設けたことを特徴とするウェハローダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/30 502 J
