特許

J-GLOBAL ID：200903084560713031

超純水製造用イオン吸着膜の再生方法及び超純水の製造方法

発明者： 田村 真紀夫 ,  内山 紀子 ,  久保田 昇 ,  橋野 昌年
出願人/特許権者： オルガノ株式会社 ,  旭化成工業株式会社
代理人 (1件)： 塩澤 寿夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-057173
公開番号（公開出願番号）：特開平11-253941
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】超純水製造のユースポイントモジュールシステムに使用されるイオン吸着膜を、ユースポイント直前に使用できる程度の状態に再生する方法を提供すること。【解決手段】超純水製造装置のユースポイント直前において用いられるイオン吸着膜を再生薬液で再生する方法であって、使用済みのイオン吸着膜に捕獲された不純物を再生薬液で除去する工程及び洗浄水でリンスする工程からなり、 前記不純物除去工程で用いられる再生薬液の調製水及び洗浄水が超純水である方法。

請求項（抜粋）：

超純水製造装置のユースポイント直前において用いられるイオン吸着膜を再生薬液で再生する方法であって、使用済みのイオン吸着膜に捕獲された不純物を再生薬液で除去する工程及び洗浄水でリンスする工程からなり、前記不純物除去工程で用いられる再生薬液の調製水及び洗浄水が超純水であることを特徴とする方法。

IPC (4件)：

C02F 1/44 ,  B01D 63/02 ,  B01D 65/06 ,  B01D 71/82

FI (4件)：

C02F 1/44 J ,  B01D 63/02 ,  B01D 65/06 ,  B01D 71/82

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 超純水製造システムの運転方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-250809   出願人：旭化成工業株式会社
• 特開平1-297149
  
• 再生処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-142048   出願人：旭化成工業株式会社