特許
J-GLOBAL ID:200903084561177486

酸素センサーおよびその製法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-114538
公開番号(公開出願番号):特開平5-126786
出願日: 1992年05月07日
公開日(公表日): 1993年05月21日
要約:
【要約】【目的】 金属白金を含有するスクリーン印刷用ペーストを用いることができ、内部参照電極およびそれに接続する導体トラックを備え、種々の組成および温度の燃焼排ガス中の酸素の連続測定全般に適した、小型化された、特に平面状の気密センサー構造体を提供する。【構成】 燃焼炉中または内燃機関の排気ガス中の酸化含量の測定に適した、二酸化ジルコニウムを基礎とするプレーナー酸素センサーを開示する。センサーの外表に測定用貴金属電極が配置され、その内部には外部接点に接続された、2層の二酸化ジルコニウム層に内包された参照電極が配置される。これらの層の1つは縁付近の領域にホールを備え、その外側へ面した部分ははんだガラスでシールされている。ホールの内部は焼結白金で部分的に充填され、これがホールを外側へ貫通する外部接点としての白金線と、二酸化ジルコニウム層の内部界面に配置され、参照電極へ導く白金導体トラックとの導電性接続を形成する。この酸素センサーの製法をも開示する。
請求項(抜粋):
二酸化ジルコニウムを基礎とする、燃焼炉中または内燃機関の排気ガス中の酸化含量を測定するためのプレーナー酸素センサーであって、2層の二酸化ジルコニウム外層および1層の二酸化ジルコニウム中間層からなる少なくとも3層の構造を備え、二酸化ジルコニウム外層の外表に配置された測定用貴金属電極、および内部に配置され、外部接点に導電性接続された参照電極を備えたものにおいて、外部電極を保有しない二酸化ジルコニウム外層が、内部電極層との間に電気接点を形成する白金素材で部分充填されたホール、および該ホールを外側へ貫通する白金線を備え、ホールの残りの空間ははんだガラスで充填されている、酸素センサー。

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