特許
J-GLOBAL ID:200903084568879001
綿状高融点金属材料およびその製造方法ならびにその材料を用いた電子部品およびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-369426
公開番号(公開出願番号):特開2001-181706
出願日: 1999年12月27日
公開日(公表日): 2001年07月03日
要約:
【要約】【課題】 高融点金属材料を還元材として電子放出材料と混合したり、陰極の表面に付着させる場合など、できるだけ大きな表面積で反応させることができるような、綿状の高融点金属材料またはその酸化物およびそれらの製造方法、ならびにそれを用いた応用電子部品を提供する。【解決手段】 高融点金属微粒子が空隙部を介して粉末状、または層状に堆積されることにより、空孔率の大きい綿状の高融点金属材料が形成されている。この綿状の材料を得るには、(a)不活性ガス中に酸素を含む混合ガスを反応装置内に導入し、(b)該装置内で高融点金属原料を加熱すると共に、該高融点金属原料と対向して鉛直方向上方に基台を配設し、(c)前記高融点金属原料の酸化物の微粒子を上方に対流させながら、該微粒子がそれぞれ空隙を介して繋がるように前記基台上に堆積させ、(e)還元することにより得られる。
請求項(抜粋):
高融点金属微粒子が空隙部を介して繋がれた粉末、または高融点金属微粒子が空隙部を介して層状に堆積された高融点金属層からなる綿状高融点金属材料。
IPC (9件):
B22F 3/11
, B22F 3/24 102
, C22C 1/08
, H01J 1/14
, H01J 1/20
, H01J 1/304
, H01J 9/02
, H01J 9/04
, H01L 21/324
FI (12件):
B22F 3/11 A
, B22F 3/24 102
, C22C 1/08 Z
, H01J 1/14 A
, H01J 1/14 B
, H01J 1/20 G
, H01J 9/02 B
, H01J 9/04 M
, H01J 9/04 B
, H01J 9/04 J
, H01L 21/324 Q
, H01J 1/30 F
Fターム (9件):
4K018AA19
, 4K018AA21
, 4K018FA23
, 4K018FA24
, 4K018FA27
, 4K018GA01
, 4K018KA22
, 4K018KA37
, 5C027CC11
引用特許:
審査官引用 (5件)
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放電管用陰極およびアークランプ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-033674
出願人:新日本無線株式会社
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特表平5-504599
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特開昭62-158805
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特開昭62-070505
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特開平1-213952
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