特許
J-GLOBAL ID：200903084569214798
ウエハの搬送保管方法とウエハキャリア
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045339
公開番号（公開出願番号）：特開平5-246508
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【目的】 搬送や保管においてウエハの損傷等の問題が生じにくい、かつ、高速での搬送を可能にするウエハの搬送保管方法と、個別のウエハを取り扱うのに便利なウエハキャリアを提供する。【構成】 平らな箱体内にウエハ1枚を収納し、この箱体を1個ずつあるいは段積みして、搬送したり、保管したりする。これに用いるウエハキャリアは、内部にウエハ1枚を収容する空間を有し1側面がウエハ出入口として開口する平らな箱体と、前記出入口を塞ぐ開閉自在な蓋を備え、前記空間の上下面は、少なくとも前記出入口から見た両端側の部分が中央部側から端部側にかけて次第に互いの間隔が狭くなるように傾斜した傾斜面になっており、前記箱体と蓋との間には蓋を閉方向に付勢する付勢手段を備えるとともに、前記空間の奥にはウエハを出入口側に向けて付勢する付勢手段をも備えている。【効果】 ウエハを1枚ずつキャリアに収納して搬送したり保管したりするのでウエハが損傷されず、高速でのウエハの搬送が可能となる。
請求項（抜粋）：
平らな箱体内にウエハ1枚を収納して搬送したり保管したりするウエハの搬送保管方法。
IPC (6件)：
B65G 1/02
, B65D 83/00
, B65D 85/00
, B65D 85/38
, B65G 49/07
, H01L 21/68
