特許

J-GLOBAL ID：200903084578365464

熱処理方法

発明者： 大加瀬 亘 ,  八木 靖司 ,  河内 聡
出願人/特許権者： 東京エレクトロン相模株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033992
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206043
出願日： 1992年01月27日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】 第1の目的は、被処理体の温度を迅速に設定処理温度にまで上昇させることができる熱処理方法を提供することにある。第2の目的は、被処理体の温度が変化した場合に迅速に設定処理温度に戻すことができる熱処理方法を提供することにある。【構成】 一端に出入口を有する筒状の反応管の他端側に加熱源を配置し、被処理体を反応管の出入口から進入させて設定位置において熱処理を行う熱処理方法において、被処理体を設定位置に移動させる際に、当該設定位置よりも加熱源に近い接近位置に一旦移動させ、次いで設定位置まで戻すことを特徴とする。また、被処理体の熱処理中において、設定位置における実際の処理温度が変化した場合には、被処理体の加熱源に対する位置を変化させて設定処理温度に一致させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

一端に出入口を有する筒状の反応管の他端側に加熱源を配置し、被処理体を反応管の出入口から進入させて設定位置において熱処理を行う熱処理方法において、被処理体を設定位置に移動させる際に、当該設定位置よりも加熱源に近い接近位置に一旦移動させ、次いで設定位置まで戻すことを特徴とする熱処理方法。

IPC (5件)：

H01L 21/22 ,  C23C 16/46 ,  C30B 25/10 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324