特許
J-GLOBAL ID：200903084579624463
カーボン発熱体の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高畑 正也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-046330
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222357
出願日： 1995年02月09日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 例えば半導体装置に用いられるヒータとして有用な、金属不純物が極めて少なく、材質強度ならびに発熱特性に優れたカーボン発熱体の製造方法を提供すること。【構成】 減圧蒸留により精製した、分子量100以上、ゲル化時間5〜60分のフェノール樹脂にフランあるいはその誘導体化合物を混合して粘度1〜100ポイズ、樹脂分50重量%以上のフェノール系樹脂を主体とする熱硬化性樹脂液を調製し、該熱硬化性樹脂液を酸素濃度が10〜70%の酸化性雰囲気中で易離型性かつ可撓性を有する所定形状の成形型に注入して予備硬化処理した後、予備硬化樹脂成形体を成形型から離型分離して加熱硬化し、次いで非酸化性雰囲気下で800°C以上の温度により焼成炭化処理する。
請求項（抜粋）：
減圧蒸留により精製した分子量100以上、ゲル化時間5〜60分のフェノール樹脂にフランあるいはその誘導体化合物を混合して粘度1〜100ポイズ、樹脂分50重量%以上のフェノール系樹脂を主体とする熱硬化性樹脂液を調製し、該熱硬化性樹脂液を酸素濃度が10〜70%の酸化性雰囲気中において易離型性かつ可撓性を有する所定形状の成形型に注入して予備硬化処理した後、予備硬化樹脂成形体を成形型から離型して加熱硬化し、次いで非酸化性雰囲気下で800°C以上の温度により焼成炭化処理することを特徴とするカーボン発熱体の製造方法。
IPC (4件)：
H05B 3/14
, C01B 31/02 101
, C04B 35/52
, H05B 3/62
H05B 3/14 F
, C01B 31/02 101 A
, H05B 3/62
, C04B 35/52 A
