特許

J-GLOBAL ID：200903084586782619

画像取得装置及び方法

発明者： 則 松 研 二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-103314
公開番号（公開出願番号）：特開平9-265931
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 電子ビームテスタにおいて、配線の電位情報を欠落させることなく、一度に取得できる電位コントラスト画像の領域を広くする事が可能となリ、解析時間の短縮が可能となった。【解決手段】 以下(1)〜(3)の方法で電位コントラスト画像の取得を行う。(1)偏向コイル制御装置9で偏向コイル4を制御するか、又は、デバイスの搭載されているステージを回転させることにより、電子ビーム2の走査方向が配線パターンの方向と平行にならないように角度を付ける。(2)レンズ制御装置9で集束レンズ4及び対物レンズ5を制御することにより、電子ビームの径を走査線の間隔にほぼ等しくなるように変化させ、走査領域全面に電子ビームが照射できるようにする。(3)これら両方を組み合わせる。

請求項（抜粋）：

照射ビーム発生手段と、前記照射ビーム発生手段で発生した照射ビームのビーム幅を調整する調整手段と、前記照射ビームを走査する走査手段と、前記照射ビームの走査方向が被測定デバイス表面のパターン方向と所望の角度をなすように走査角度を付与する走査方向制御手段と、前記照射ビームを被測定デバイス表面に照射して該被測定デバイス表面からの反射を検出する検出手段とを備えた画像取得装置。

IPC (4件)：

H01J 37/147 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

H01J 37/147 B ,  H01J 37/22 502 B ,  H01L 21/66 C ,  G01R 31/28 L