特許

J-GLOBAL ID：200903084591863449

真空スピンドライヤー方法及び装置

発明者： 長崎 真一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-030932
公開番号（公開出願番号）：特開2002-237482
出願日： 2001年02月07日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハ等の基板を乾燥させるスピンドライヤー方法および装置において、短時間で効率良く基板を乾燥させること。【解決手段】 ドライヤー内のローターにセットした基板をローターを回転させて乾燥する方法であって、ドライヤー内を徐々に減圧する工程と、ドライヤー内に不活性ガスを断続的に導入する工程とからなるものである。遠心力と、不活性ガスによる吹き飛ばしと、減圧とによる相乗効果で、水分をミスト化して効率良く除去することができ、基板の完全乾燥ができる。

請求項（抜粋）：

ドライヤー内のローターにセットした基板をローターを回転させて乾燥する方法であって、ドライヤー内を徐々に減圧する工程と、ドライヤー内に不活性ガスを断続的に導入する工程とからなることを特徴とする真空スピンドライヤー方法。

IPC (6件)：

H01L 21/304 651 ,  H01L 21/304 ,  F26B 5/04 ,  F26B 5/08 ,  F26B 9/06 ,  F26B 21/14

FI (7件)：

H01L 21/304 651 K ,  H01L 21/304 651 F ,  H01L 21/304 651 L ,  F26B 5/04 ,  F26B 5/08 ,  F26B 9/06 A ,  F26B 21/14

Fターム (19件)：

3L113AA01 ,  3L113AB02 ,  3L113AB08 ,  3L113AC24 ,  3L113AC28 ,  3L113AC45 ,  3L113AC46 ,  3L113AC48 ,  3L113AC57 ,  3L113AC63 ,  3L113AC64 ,  3L113AC67 ,  3L113AC68 ,  3L113AC75 ,  3L113AC76 ,  3L113BA34 ,  3L113DA01 ,  3L113DA10 ,  3L113DA24