特許

J-GLOBAL ID：200903084593264615

静電チャック

発明者： 川合 信 ,  新井 健一 ,  中山 初代
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319291
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176602
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 温度サイクルにより発生する熱応力を緩和することができ、かつ絶縁耐電圧性が高いので放電現象も防止できる、長寿命で高性能な静電チャックの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の静電チャックは、電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆してなることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

電極の両側を焼結体および/または溶射セラミックスよりなる絶縁性誘電体層で被覆した構造を有する静電チャックにおいて、この電極に外部から電圧を給電するために設けた電極給電部の周囲をシリコーン樹脂で被覆してなることを特徴とする静電チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/265 ,  H02N 13/00