特許
J-GLOBAL ID：200903084605066059
無発塵ゲートバルブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295171
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106761
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 高純度ガス系等において使用するゲートバルブの系内にシールのための弁部材の摺動部をなくして無発塵構造とし、シール位置付近までの移動は小パワーで大変位させ、その後は小変位大パワーの拡開力を作用させたバルブを提供する。【構成】 弁箱1内に通孔3を閉鎖する一対の弁部材10を備えた弁組立体4を設け、保持管5により閉弁位置と開弁位置とに移動可能に支持させると共に、保持管5内を通して操作力が伝達されて弁部材10に機械的駆動による拡開力を作用させる大変位拡縮機構20を設ける。またその大変位拡縮機構により拡開した状態から弁部材に対して小変位大パワーの拡開力を作用させる圧電素子21を設ける。
請求項（抜粋）：
弁箱における対向位置に設けたフランジの通孔を開閉するためのゲートバルブであって、上記弁箱内において保持管により閉弁位置と開弁位置とに移動可能に支持させた弁組立体を備え、この弁組立体は、上記通孔の周囲においてシール材にシート面を圧接することによりそれらの通孔を閉鎖する一対の弁部材を備え、これらの弁部材は、それらの間に介在するリングとの間をそれぞれベローズにより連結して、弁箱内の流体流路と弁組立体の内部を隔離し、弁組立体内に、保持管内を通して操作力が伝達されて一対の弁部材に機械的駆動による拡開力を作用させる大変位拡縮機構を設け、且つその大変位拡縮機構により拡開した状態から弁部材に対して小変位大パワーの拡開力を作用させる圧電素子を設けた、ことを特徴とする無発塵ゲートバルブ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
