特許
J-GLOBAL ID:200903084621459850

集積回路用ドレイン拡張型トランジスタ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 浅村 皓 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-328380
公開番号(公開出願番号):特開2001-168210
出願日: 2000年10月27日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】 サブミクロンCMOSプロセス用の集積回路用ドレイン拡張型トランジスタを提供する。【解決手段】 トランジスタ・ゲート(40)がシリコン基板(10)中のCMOSn形ウエル領域(80)およびCMOSp形ウエル領域(70)を覆って形成される。各種のCMOSウエル領域中に、トランジスタ・ソース領域(50)、(140)およびドレイン領域(55)、(145)が形成されて、ドレイン拡張型のトランジスタが作製される。ここにおいて、CMOSウエル領域(70)、(80)がトランジスタのドレイン拡張領域として機能する。
請求項(抜粋):
集積回路用ドレイン拡張型トランジスタであって、第2のウエル領域に隣接する第1のウエル領域を含む半導体基板、前記第1ウエル領域および前記第2ウエル領域を覆うトランジスタ・ゲート、前記トランジスタ・ゲートに隣接し、前記第1ウエル領域中に含まれる第1の伝導形のトランジスタ・ソース領域、および前記第2ウエル領域中に含まれる第1の伝導形のトランジスタ・ドレイン領域、を含む集積回路用ドレイン拡張型トランジスタ。
IPC (3件):
H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/78
FI (3件):
H01L 27/08 321 C ,  H01L 27/08 321 B ,  H01L 29/78 301 S
引用特許:
審査官引用 (9件)
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