特許

J-GLOBAL ID：200903084626256958

圧電型物理量センサ

発明者： 大高 和雄 ,  久保田 宏幸 ,  青木 浩
出願人/特許権者： ミヨタ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-352955
公開番号（公開出願番号）：特開平9-184774
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】[課題] 圧電セラミックスを用いてセンサ部にコンデンサを形成し、センサに作用する力をコンデンサの容量変化で検出測定する。[解決手段] 板状の圧電セラミックス素子と、この圧電セラミックス素子の上面に形成した上部電極と、この圧電セラミックス素子の下面に形成された下部電極とによって構成されるセンサ部の、各電極により圧電セラミックス素子を所望方位に分極処理した後必要に応じて各電極を接続する。

請求項（抜粋）：

板状の圧電セラミックス素子と、この圧電セラミックス素子の上面に形成した上部電極と、この圧電セラミックス素子の下面に形成された下部電極とによって構成されるセンサ部の、各電極により圧電セラミックス素子を所望方位に分極処理した後必要に応じて各電極を接続したことを特徴とする圧電型物理量センサ。

IPC (4件)：

G01L 1/16 ,  G01P 15/09 ,  G01P 15/125 ,  H01L 41/08

FI (4件)：

G01L 1/16 ,  G01P 15/09 ,  G01P 15/125 ,  H01L 41/08 Z