特許
J-GLOBAL ID：200903084633378350
スピン・オン・グラス塗布装置及びその塗布方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-329882
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153752
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：
【要約】【目的】 ウエハの平坦度等を向上させることのできるスピン・オン・グラス塗布装置及びその塗布方法を提供する。【構成】 回転しているウエハ5上に滴下されたスピン・オン・グラス溶液でウエハ5上にスピン・オン・グラス膜を形成するものであって、ウエハ5上に形成されたスピン・オン・グラス溶液の膜を加熱し、有機溶剤を揮発させてスピン・オン・グラス膜を生成するためのヒーター機構10と、ヒーター機構10がウエハ5上を加熱する温度を調整するための温度調整手段(例えば上下機構19)とを備え、ウエハ5上にスピン・オン・グラス膜の形成を複数回繰り返すとともに、ヒーター機構10によりスピン・オン・グラス溶液の膜を1回目の膜形成時には低温で加熱し、2回目にはこれよりも高温で加熱するようにした。
請求項（抜粋）：
回転するウエハ上に滴下されたスピン・オン・グラス溶液で前記ウエハ上にスピン・オン・グラス膜を形成するスピン・オン・グラス塗布装置において、前記ウエハ上に塗布された前記スピン・オン・グラス溶液の膜を加熱し、有機溶剤を揮発させてスピン・オン・グラス膜を生成するためのヒーター機構と、前記ウエハ上に対する前記ヒーター機構の加熱温度を調整するための温度調整手段とを備えたことを特徴とするスピン・オン・グラス塗布装置。
IPC (2件)：
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