特許
J-GLOBAL ID：200903084646542043
固体撮像装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-062282
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273759
出願日： 2003年03月07日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】各感光セルを3個のトランジスタで構成したセンサについて、回路のサイズを小さくする。【解決手段】各感光セルでは、フォトダイオード101と、転送ゲート102と、フローティング拡散層部103と、増幅トランジスタ104と、リセットトランジスタ105とが、素子分離領域に囲まれた一つの活性領域100内に形成される。感光セルに含まれるフローティング拡散層部103は、当該セルに含まれる増幅トランジスタ104ではなく、当該感光セルと列方向に隣接する感光セルに含まれる増幅トランジスタ104のゲートに接続される。ポリシリコン配線111は同じ行に配列された転送ゲート102を接続し、ポリシリコン配線112は同じ行に配列されたリセットトランジスタ105を接続する。これら行方向の接続を行う配線には、ポリシリコン配線のみが使用される。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
入射した光信号の強度に応じた電気信号を出力する固体撮像装置であって、
半導体基板上に、入射光を光電変換し得られた信号電荷を蓄積するフォトダイオードと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を転送する転送トランジスタと、転送された前記信号電荷を一時的に蓄積するフローティング拡散層部と、前記フローティング拡散層部に蓄積された信号電荷を増幅する増幅トランジスタと、前記フローティング拡散層部に蓄積された信号電荷をリセットするリセットトランジスタとを含む感光セルを行および列方向の2次元状に配列した感光領域と、
前記増幅トランジスタのドレインに共通して接続される電源ラインと、
同じ行に配列された前記転送トランジスタと同じ行に配列された前記リセットトランジスタとをそれぞれ駆動する垂直ドライバ回路と、
同じ列に配列された前記増幅トランジスタに共通して接続される複数の垂直信号線と、
それぞれが各前記垂直信号線に接続される複数の負荷トランジスタと、
前記垂直信号線に出力される信号の雑音を抑圧する雑音抑圧回路と、
行方向に並べて配列され、前記雑音抑圧回路の出力が入力される複数の水平トランジスタと、
前記水平トランジスタを順次選択的に動作させることにより、前記雑音抑圧回路の出力を順次出力させる水平ドライバ回路とを備え、
前記感光セルでは、前記フォトダイオードと、前記転送トランジスタと、前記フローティング拡散層部と、前記増幅トランジスタと、前記リセットトランジスタとが、素子分離領域に囲まれた一つの活性領域内に形成されており、かつ、前記感光セルに含まれる前記フローティング拡散層部は、当該感光セルと列方向に隣接する感光セルに含まれる前記増幅トランジスタのゲートに接続されていることを特徴とする、固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L27/14 A
, H04N5/335 E
4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA19
, 4M118FA06
, 4M118FA33
, 4M118FA42
, 4M118FA50
, 5C024AX01
, 5C024CX03
, 5C024CY47
, 5C024GY31
, 5C024GY41
