特許
J-GLOBAL ID：200903084657726995
電子線描画装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-245500
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082069
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ディジタル信号をアナログ回路系のDA変換器などに伝送するためのケーブル本数を減少し、アナログ回路とディジタル回路とを電気的に絶縁する。【構成】描画データ発生回路2の出力に、複数の偏向信号を多重化するための選択回路7と、並列データを直列データに変換する並/直変換回路8と、電気信号を光信号に変換する送信回路9とを設け、アナログ回路系でこれを受信するために、光信号を電気信号に変換する光受信回路10と、直列データを並列データに変換する直/並変換回路11と、多重化されたデータを各DACに分配するための分配回路12を設け、さらに、ブランキング信号についても同様に、光送信回路3と光受信回路4を設け、それぞれの光送信回路と光受信回路の間を光ケーブルを用いて接続する。
請求項（抜粋）：
パターンメモリ手段と描画デ-タ発生手段とから構成されたディジタル処理手段と、DA変換手段と偏向アンプで構成されたアナログ偏向手段とを有する電子線描画装置において、該ディジタル処理手段と該アナログ偏向手段との間のデータ転送手段に光伝送手段を用いることにより、該ディジタル処理手段と該アナログ偏向手段との電源およびグランドラインを分離することを特徴とする電子線描画装置。
IPC (3件)：
H01J 37/305
, H01J 37/147
, H01L 21/027
