特許
J-GLOBAL ID：200903084663754607
縦型拡散、CVD装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-302360
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114568
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】筐体等を特に耐圧構造にすることなく、窒素ガスの置換でウェーハの酸化を防止し、更に大気中での自然酸化を防止しようとするものである。【構成】筐体1内に反応炉4、ボート装入装置2、ウェーハ移載機9、カセット収納室10、カセット予備室20等を収納し、少なくとも前記筐体、カセット予備室を常圧気密構造とし、前記筐体、カセット予備室を窒素ガスにより置換可能とし、ウェーハの移載、待機中での自然酸化を防止する。
請求項（抜粋）：
筐体内に反応炉、ボート装入装置、ウェーハ移載機、カセット収納室、カセット予備室等を収納し、少なくとも前記筐体、カセット予備室を常圧気密構造とし、前記筐体、カセット予備室を窒素ガスにより置換可能としたことを特徴とする縦型拡散、CVD装置。
IPC (3件)：
H01L 21/22
, H01L 21/205
, H01L 21/31
