特許

J-GLOBAL ID：200903084666382611

狭帯域化レーザ装置

発明者： 田中 克房
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328823
公開番号（公開出願番号）：特開平5-167163
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、中心波長が高精度に制御されたレーザ光を安定して出力できる狭帯域化レーザ装置を得ることを目的とする。【構成】 レーザ発振部1の一方の側には出力鏡3が配置され、他方の側にはプルズム5を介して回折格子4が配置され、レーザ共振器を構成している。回折格子4は点Pを中心に回動自在にベースプレート13に支持されている。波長モニタ8はレーザ光Lの中心波長のずれを検出する。コントローラ10は波長モニタ8の出力信号を入力し、偏心カム12を装着するアクチュエータ11を駆動制御する。縮小レバー15は点Qを中心に回動自在に支持され、一端には偏心カム12と当接するローラ16を軸支し、他端はベースプレート13の一端と当接している。圧縮バネ17はベースプレート13を矢印B方向に押すように縮設されている。

請求項（抜粋）：

レーザ発振部および回折格子を有するレーザ共振器と、前記回折格子の角度を調節する角度調節手段と、前記レーザ共振器から出力されるレーザ光の波長を検出し、前記レーザ光の波長が所定波長に保たれるように前記角度調節手段を制御する制御手段とを備えた狭帯域化レーザ装置において、前記角度調節手段はレバーを備え、前記レバーの作動により前記回折格子を回動して前記回折格子の角度を調節することを特徴とする狭帯域化レーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/1055 ,  H01S 3/106 ,  H01S 3/136

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-271515
  
• 特開昭60-145682
  
• 特開昭63-241433