特許
J-GLOBAL ID：200903084667732896
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-105130
公開番号（公開出願番号）：特開平6-106149
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】液体を使用して洗浄を実施する場合に、被洗浄物に残留する液体を減少させる。【構成】洗浄装置の液切りに用いる液切りブロワーの配置を、図に示すように、液切りブロワー1から噴出する気体の噴出方向3と被洗浄物の進行方向5とが平行にならないように行い被洗浄物の液切りを行う。これにより、被洗浄物に残留する液体を減少できる。
請求項（抜粋）：
被洗浄物の進行方向に対して、斜めに気体を噴出して被洗浄物の液切りを行うように配置した液切りブロワーを備えることを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 5/02
, H05K 3/26
, H01L 21/304 341
